氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。该设备的灵敏度高、操作便捷、低维护，使您放心得到准确可靠的测试结果。氦质谱检漏仪在使用时应注意：
1、不要随意拔出配管：当设备处于加压状态，禁止拔出连接仪器和减压阀之间的配管接头。不然大量的压缩空气被吹出，会对人体有害。不得挤压：不得踩踏仪器或坐在仪器上，不得将其它物品放置在仪器上。
2、一般情况下，真空检漏时要重点关注以下部位：法兰接口部位；焊接部位；波纹管部位；其他密封部位。
3、(1)对工件喷氦应按以下顺序进行：从上往下。从靠近测试口到远离测试口。
(2)喷氦时应经常检查喷枪口是否有氦气喷出。
(3)检完工件，必须将“节流阀”关闭，才能取工件。
(4)对同一工件，如有两处以上漏点，应排除*大的漏点后，再对其它地方检漏。
(5)装工件时应使连接处密封好，不能有漏。
(6)检漏间应通风良好，避免氦气浓度，但应避免强通风，使用过程中应避免泄漏浪费。
